Forno RTP compacto 1100c com tubo de quartzo e vácuo digital Indicador

N ° de Modelo.
TMAX-1200X-RTP-4
Pacote de Transporte
Wood Packing
Marca Registrada
TMAX
Origem
China
Preço de referência
$ 2,925.00 - 6,228.00
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Descrição de Produto

1100c Compact Rtp Furnace with Quartz Tube & Digital Vacuum Gauge
Forno RTP compacto 1100C com tubo de quartzo e vácuo digital Indicador

A TMAX-1200X-RTP-4  é um forno de tubo de processamento térmico rápido compacto com um tubo de quartzo de processamento de 4" de diâmetro interno e flanges de vácuo.  Foi concebido para discos semicondutores de recozimento ou células solares com diâmetros até 3". A TMAX-1200X-4 - RTP é aquecida por 8 unidades de luz de halogéneo de 1 kW com uma taxa de aquecimento máxima de 50ºC/segundo. O controlador de temperatura de precisão de 30 segmentos com precisão de 1ºC/ está incorporado no forno para permitir aquecimento, habitação e arrefecimento em vários passos. A porta RS485 e o software de controlo estão incluídos para tornar possível a monitorização do perfil de temperatura através de PC, enquanto corre simultaneamente o forno. Este forno também pode ser modificado para um   forno de RTE, CSS ou HPCVD  (veja abaixo a nota de aplicação)
 
ESPECIFICAÇÕES
Estrutura do forno
  • O revestimento de aço de camada dupla com arrefecimento a ar mantém a temperatura da superfície do forno inferior a 60 ° C.   
  • Isolamento de alumina fibrosa de elevada pureza para máxima poupança de energia.
  • Cobertura dividida com proteção Interlock , corte a alimentação se a tampa abrir durante o processo de aquecimento do forno.
Entrada de alimentação 208-240 AC, monofásico de 50/60 Hz, máx. 9 KW  (Requer um martelo demolidor de 60 a)  

Elementos de aquecimento
  • 8 unidades , tubo de luz de halogéneo de 1 kW , (diâm. O  comprimento do aquecimento é de 10 mm (mm)
  • Vida útil normal: 2000 horas.  (depende da taxa de aquecimento)
  •   O tubo de luz de halogéneo é consumível.  Clique na imagem à esquerda para encomendar uma sobresselente
   
Zona de aquecimento Comprimento de 12" com zona de temperatura constante de 4" dentro da uniformidade de 5ºC/
Temperatura de trabalho
  • 1100ºC Máx. Por < 10 minutos
  • 1000ºC Máx. Durante < 20 minutos (Nota: Se o funcionamento for mais longo, o estojo do forno irá > 100 oC, deve utilizar o estojo de arrefecimento do ventilador do exterior)
  • 800ºC Máx . Por < 120 minutos
  • 600ºC Máx . Para contínuo  
Máx. Taxa de aquecimento 50ºC/seg
Taxa de arrefecimento
  • Máx. Arrefecimento: 60ºC/min (sob vácuo: 200 mtorr), 117ºC/min (sob pressão atmosférica)  
  • Arrefecimento mais baixo: 10 ºC /minuto
Termopar Tipo K, a cabeça do termopar toca o suporte de amostras Nitrida de alumínio por baixo  
Controlador de temperatura

 
  • o controlador de temperatura está incluído.
  • Controlo proporcional - integral - derivativo (controlo PID) e função de ajuste automático
  • 30 segmentos programados com passos de rampa, arrefecimento e de alojamento
  • Alarme de temperatura excessiva incorporado e alarme de falha do termopar
  • Precisão do controlo da temperatura de ºC
  • Porta de comunicação DB9 PC predefinida
  • CERTIFICADO MET
Controlador de temperatura (opcional)


 
  • O kit de software de controlo da temperatura MTS02-Y (para controladores da série YD518P) e o pacote de computador portátil de 15"  está disponível na  barra de opções.
  • Pode actualizar o controlador de temperatura para o controlador de temperatura Eurotherm 3504  , que é totalmente compatível com LabVIEW.  Este pacote inclui um programador Eurotherm 3504, um cabo de comunicação (RS485-USB) e um CD de software. Clique no foto abaixo para ver a especificação completa do controlador de temperatura Eurotherm 3504.  
Tubo de quartzo e suporte para amostras
  • Tamanho do tubo de quarto: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 16.2" comprimento.   Está incluído um suporte de amostras AlN de 3" de diâmetro para amostras de recozimento com um diâmetro até 3" de diâmetro. O ALN tem uma condutividade térmica muito elevada que proporciona a melhor uniformidade térmica na área da amostra.
  • Opcional:  O substrato de grafite de 3''O.D de espessura pode ser utilizado como alternativa à placa AIN. (clique na imagem 3 abaixo para encomendar)
  • Opcional: Grafite Crucible: 87 mm de diâmetro x 71 mm de diâmetro interior x 12 mm a altura com tampa foi concebida para um suporte de amostras de 3", podendo  também ser modificada para   um forno de RTE, CSS ou HPCVD  com um cadinho de grafite revestido com SiC.
  • O suporte de amostras é amovível da flange para utilização do forno RTP para outros fins.
Flange de vácuo
  • A flange de vácuo elevado KF-D25 é fabricada em aço inoxidável com o-rings duplos de silicone de alta temperatura, válvulas de agulha e camisa de arrefecimento a água.
  • Apenas necessita de arrefecimento com água em longos períodos de funcionamento a temperaturas > 600 oC .
  • Taxa de circulação de água: 0.5 m3  /h.
  • A flange deslizante proporciona uma forma mais fácil de carregar, descarregar as amostras e outro processo específico necessário.
  • Acoplamento térmico de encaixe para uma medição precisa.  
     
Bomba de vácuo (opcional)

 
  • A bomba de vácuo EQ-FY1 é recomendada para este forno. A pressão de vácuo máxima neste sistema pode ser de 10 ^ -3 torr. Os foles de vácuo e as pinças estão incluídos nesta embalagem. Clique aqui para obter as especificações da bomba de vácuo EQ-FY1.  
Refrigeração a água (opcional)

 
  • É necessária água de refrigeração.
  • Certifique-se de que a taxa de fluxo da água de refrigeração é de ≥ 10 L/min, temperatura da água. < 25ºC; pressão > 25 PSI.
  • Sugerimos que utilize o refrigerador de água de recirculação da série EQ-KJ5000 como um sistema de refrigeração (encomende separadamente nos produtos relacionados abaixo) para poupar água.   
  • Aviso: O tempo máximo de habitação deste forno RTP deve ser inferior a 600 segundos a 1000ºC ~ 1100ºC C com água da torneira, caso contrário o-ring poderá derreter.  
Medidor de caudal Um medidor de caudal está instalado no painel dianteiro durante ajustar o fluxo de gás de 16 - 160 ml/min
Manómetro de vácuo  O manómetro de vácuo digital com uma gama de medição de 10-4  a 1000 Torr está instalado no forno.
Pressão de vácuo e encaixe de gás
  • A pressão pode atingir 50 mtorr utilizando uma bomba de vácuo mecânica Com adaptador KF25
  • A pressão pode atingir 10-4   torr por bomba molecular com KF25 adaptador
Dimensões

 
  •  Flange fechada: 760 mm (C) X 330 mm (L) X 530 mm (a)/flange aberta: 1200 mm (C) X 330 mm (L) X 530 mm (a)
peso líquido 70 kg (150 lbs)
Garantia Garantia limitada de um ano do fabricante com suporte vitalício ( peças consumíveis como tubos de processamento, o-rings e lâmpadas de halogéneo não são abrangidas pela garantia; encomende substituições nos produtos relacionados abaixo).
Computador portátil, software e controlo Wi-Fi (opcional)
  • Computador portátil novo com Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 dias de teste gratuito) para utilização imediata.
  • Sistema de controlo da temperatura baseado no LabVIEW)   permite ao utilizador editar o perfil de temperatura, gerir a receita de tratamento térmico, registar e registar dados para fornos MTI.
  • Um telecomando sem fios proporciona um alcance de funcionamento até 300 metros.
  • As características acima mencionadas estão disponíveis mediante pedido e por um custo adicional (até 1,000 dólares). Contacte-nos para obter mais informações.
  • Nota:  
    O software é compatível apenas com o controlador de temperatura Yudian da MTI
     

     
 Conformidade  Selecione o certificado na barra de opções:
certificado CE e pronto para UL/CSA: Aprovação CE, pronto para aprovação certificado UL/CSA  
UL certircate  -UL apvval (UL 61010) , a custo extra
 Opcional  
  • Pode combinar o forno RTP com estação de vácuo elevada ou sistema de gás limpo como forno de vácuo ou sistema CVD. Clique nas imagens abaixo para ver os detalhes
  • Para obter uma taxa de arrefecimento rápida ( < 10ºC/segundo), pode escolher o forno RTP com calha deslizante. Clique na imagem abaixo para ver os detalhes.
  • Pode encomendar o módulo de controlo da pressão.    
Notas de aplicação
  • As muflas tubulares com tubos de quartzo foram concebidas para utilização sob vácuo e baixa pressão < 0.2 bar/3 psi/0.02 MPa.  As pressões de vácuo só podem ser utilizadas em segurança até 1000 ° a taxa de fluxo de CThe para gases deve ser limitada a < 200 SCCM (ou 200 ml/min) para reduzir os choques térmicos no tubo
  • Atenção: Deve ser instalado UM regulador de pressão de dois estágios no cilindro de gás para limitar a pressão a menos de 3 PSI para um funcionamento seguro.   Este forno também pode ser modificado num   forno de RTE, CSS ou HPCVD  com um cadinho de grafite revestido com SiC (clique em Pic-Left para obter mais informações sobre como configurar um processamento de RTE por bricolage)
  • Após DCV, o grafeno deve ser transferido do catalisador metálico para outro substrato para a maioria das aplicações.  Ao utilizar a fita de transferência gráfica, o resíduo pode ser baixo.
1100c Compact Rtp Furnace with Quartz Tube &amp; Digital Vacuum Gauge



A TMAX-1200X-4-C4-SL-UL   é um   sistema especial para CVD de tubo duplo concebido para o revestimento de película fina na película metálica, especialmente para a preparação de elétrodos flexíveis em película metálica na investigação energética da nova geração. O aquecimento e arrefecimento rápidos podem ser alcançados deslizando o forno. Consulte a secção instruções de funcionamento para ver as operações do forno:
  • Tubo de quartzo duplo: Tubo exterior com 100 mm de diâmetro e suspenso por tubo interior com 80 mm de diâmetro.  A película metálica (substrato de crescimento de grafite) será enrolada à volta da superfície do tubo para a reação CVD.  
  • Flanges seladas a vácuo para o tubo duplo, que permitem que os gases reativos fluam entre dois tubos (espaço de 10 mm) e o fluxo de gás inerte no interior do tubo para arrefecimento.
  • 4 canais de gás controlados por 4 MFCs digitais separados
  • A bomba de vácuo está incluída com o adaptador KF25 e o tubo para plug and play
  • A calha deslizante está instalada no fundo do forno de zona única, o que permite um aquecimento ou arrefecimento rápidos deslizando o forno de um lado para o outro.
  • Está incluída uma braçadeira de paragem de lâminas para manter a posição do forno.
Tanto a zona de aquecimento como o sistema de vácuo podem ser seleccionados: Zona de aquecimento simples ou dupla; bomba de vácuo a seco sem extracção de alta velocidade - VBS-M1 ou bomba mecânica de dois estágios - VBS-ACP15.

ESPECIFICAÇÕES:
 
Estrutura do forno

  		Zona de aquecimento simples
  • A câmara de isolamento Al2O3 de elevada pureza garante uma excelente uniformidade térmica.
  • Ventiladores de resfriamento são instalados na parte inferior da fornalha para garantir ventilação eficiente.
  • O conjunto da flange deslizante é feito de aço inoxidável.
  • Tubo de quartzo duplo: Tubo exterior com 100 mm de diâmetro e suspenso por tubo interior com 80 mm de diâmetro.  A película metálica (substrato de crescimento de grafite) será enrolada à volta da superfície do tubo para a reação CVD
  • Comprimento da zona de aquecimento: 440 mm
    Comprimento da zona de aquecimento a temperatura constante: 120 ( ± 1 ° C) @ 400 ~ 1100 ° C
Zona de aquecimento duplo

 
  • A câmara de isolamento Al2O3 de elevada pureza garante uma excelente uniformidade térmica.
  • Ventiladores de resfriamento são instalados na parte inferior da fornalha para garantir ventilação eficiente.
  • Máx. Temperatura: 1200 ° C e temperatura contínua: 1100 ° C.
  • Duas zonas de aquecimento controladas separadamente:
Calhas deslizantes de direcção dupla para garantir que o forno se move suavemente.
  • 200 mm de comprimento para cada zona de aquecimento, 400 mm de comprimento total de aquecimento
  • zona de temperatura constante de 250 mm se as duas zonas aquarem a. mesma temperatura
  • Diferença de temperatura máxima de 500 oC se colocar um bloco térmico entre duas zonas
Potência Zona de aquecimento simples
Potência: 208 V CA, 50 Hz, monofásica, 2,5 W (requer um disjuntor de 20 a) 		Zona de aquecimento duplo
Potência: 208 V CA, 50 Hz, monofásica, 4 KW (requer disjuntor 50A)  
cabo de alimentação de 10 pés sem ficha  (peça a um electricista autorizado para fazer a ficha)
Temperatura de aquecimento
  • Máx. Temperatura: 1100 ° C
  • Temperatura contínua: 1000 ° C
Taxa de aquecimento e arrefecimento
 
As taxas máx. De aquecimento e arrefecimento dependem da temperatura de trabalho.  Clique nas tabelas abaixo para ver a taxa de aquecimento e arrefecimento máx. Varia com diferentes temperaturas.
(Deve calibrar a temperatura e a taxa de arrefecimento do aquecimento nas suas condições de trabalho antes da utilização)
            Aquecimento         Gráfico de arrefecimento
       1100c Compact Rtp Furnace with Quartz Tube &amp; Digital Vacuum Gauge 1100c Compact Rtp Furnace with Quartz Tube &amp; Digital Vacuum Gauge
Tubos de quartzo fundidos
  • Tubo de quartzo de elevada pureza:
Dois pares de flanges seladas a vácuo com revestimentos de arrefecimento a água e válvulas de agulha de aço inoxidável
  • Tubo exterior EQ-QZTube-101D-1400: OD: 4" x ID: 3.8" X 55" de comprimento (OD 100 x ID 96 x 1400 mm)
  • Tubo interior EQ-QZTube-80D-1800: Diâmetro exterior: 3.15: X diâmetro interior x 2.95" x 70.8" comprimento (diâmetro exterior: 80 x diâmetro interior: 75 x 1800 mm  

Flanges de vácuo 		Utilizando um tubo duplo para induzir o crescimento de CVD em película metálica (enrolada à volta da superfície interior do tubo):

 
  • 1-1. Abaixo, um par de flanges SS304 para vedar o tubo externo e o espaço entre o tubo externo e o interior do tubo (este espaço é considerado como uma câmara de reação).
    • Flange do lado esquerdo: União com válvula de agulha como entrada de gás , um manómetro de vácuo digital com gama de medição de 10 ^ -4 a 1000 torr, entrada/saída de refrigeração de água incluída
    • Flange do lado direito: Válvula de ângulo direito com União de flange KF25, uma válvula de agulha de libertação de vácuo, entrada/saída de refrigeração de água incluída
 
  • 1-2. Deixe ambas as extremidades do tubo interno abertas para resfriamento a gás.
  •    

Pressão de vácuo máxima:  10 ^ -2 torr (por bomba mecânica)
                                         10 ^ -5 torr (por bomba molecular turbo)

Controlador de temperatura
  • Controlo automático PID com 30 segmentos programáveis para um controlo preciso da taxa de aquecimento, da taxa de arrefecimento e do tempo de permanência.
  • O alarme e a protecção integrados contra temperatura excessiva permitem o funcionamento sem qualquer operador.
  •  A proteção contra temperatura excessiva e o alarme permitem o funcionamento sem o(s) operador(es).
  • Precisão da temperatura de ºC C.
  • Porta de comunicação RS485.
    • Controlo avançado da temperatura  (opcional)
    • O kit de software de controlo da temperatura MTS02-Y (para controladores da série YD518P) e o pacote de computador portátil de 15" está disponível na barra de opções.  Pode actualizar o controlador de temperatura para o controlador de temperatura Eurotherm 3504 , que é totalmente compatível com LabVIEW.  Este pacote inclui um programador Eurotherm 3504, um cabo de comunicação (RS485-USB) e um CD de software. Clique no foto abaixo para ver a especificação completa do controlador de temperatura Eurotherm 3504.  
  •              

Medidores de fluxo de massa e Estação de mistura de gases
 
  • 4 o controlador de precisão do fluxo de massa (MFC) com display digital e botão de ajuste estão instalados no compartimento inferior esquerdo para controlar a taxa de fluxo de gás:
  • 4 canais de gás (contacte as vendas MTI se precisar de mais)
    • MFC 1: Gama de controlo de 0~100 SCCM
    • MFC 2: Gama de controlo de 0~200 SCCM
    • MFC 3: Gama de controlo de 0~200 SCCM
    • MFC 4: Gama de controlo de 0~500 SCCM
  • Precisão da taxa de fluxo: ± 1% FS
  • Entrada e saída de gás: Conector de tubo Swagelok de 1/4 "
  • Um tanque de mistura de gás de 80 ml está instalado na caixa inferior
  • Cada canal de gás tem uma válvula de agulha de aço inoxidável para fácil de ligar/desligar  
  • A taxa de fluxo é ajustável a partir do painel MFC
Estação da bomba de vácuo e válvulas Opcional 1:
  • Bomba de vácuo a seco sem orifícios de alta velocidade (226L/min) da Pfeiffer, o limite de Torr 10E-3 é instalado dentro de um carrinho móvel para serviço pesado. Clique na imagem abaixo para obter mais detalhes.
  • O adaptador KFD25 e o tubo de aço inoxidável estão ligados entre a bomba e a flange do tubo com uma válvula de esfera de precisão.
  • O vácuo 10E-2 Torr pode ser alcançado no interior do tubo de processamento
  • O manómetro de vácuo digital (fabricado nos EUA) está instalado na flange do lado esquerdo.  
  • (Opcional) para um nível de vácuo superior a 10 ^ -5 torr, encomende abaixo da bomba turbo móvel .
          		Opcional 2:

 
  • A  bomba de vácuo de palhetas rotativas de dois passos para trabalhos pesados com filtro de escape e entrada KF-D25 está instalada no interior de um carrinho móvel para trabalhos pesados. Clique na imagem abaixo para obter mais detalhes.
  • o  vácuo de 6,7 x 10 - 4 mbar pode ser alcançado no interior do tubo de processamento
  • O manómetro de vácuo digital (fabricado nos EUA) está instalado na flange do lado esquerdo. Clique na segunda imagem abaixo para obter mais detalhes
  • Para um nível de vácuo mais elevado até 10 ^ -5 torr, encomende abaixo do tubo de turbofump móvel   a um custo extra:
        
Função de arrefecimento por água A refrigeração a água na flange destina-se principalmente a arrefecer o o-ring no interior da flange, de forma a garantir a melhor câmara selada a temperaturas elevadas:

 
  • As flanges de refrigeração a água requerem um fluxo de água de > 10L/M.
  • Pode utilizar água da torneira como líquido de refrigeração, mas sugerimos vivamente que utilize um refrigerador de água com recirculação para considerações ambientais. Clique com o polegar abaixo para encomendar o refrigerador de água a um custo extra.
     
Peças opcionais (construção de um forno de tubo único) Pode construir uma câmara de reacção de tubo único com 80 mm de diâmetro, encomendando flanges de vedação adicionais e instalando-as no tubo interior:

 
  • Flange do lado esquerdo: Conexão de barra com válvula de agulha como entrada de gás e conexão de alimentação de 1/4'' para que o cliente insira um sensor de medição
  • Flange do lado direito: União KF25 com manómetro mecânico e válvula de libertação de vácuo
         
Dimensão
  • Forno: 550 x 380 x 520 mm
  • Estojo móvel inferior x 2:600 x 600 x 600 mm (um para estação de mistura de gás e outro para bomba de vácuo)
Envio  
  • Peso de transporte: ~ 800 lb
  • Envio por frete com três paletes
  • Será aplicada uma taxa de crateras
Garantia Garantia limitada de um ano do fabricante (peças consumíveis como tubos de processamento, o-rings e elementos de aquecimento não são abrangidos pela garantia; encomende as substituições nos produtos relacionados abaixo).  
Computador portátil, software e controlo Wi-Fi (opcional)
  • Computador portátil novo com Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 dias de teste gratuito) para utilização imediata.
  • O sistema de controlo da temperatura baseado no LabVIEW   permite ao utilizador editar o perfil de temperatura, gerir a receita de tratamento térmico, registar e registar dados para fornos MTI.
  • Um telecomando sem fios proporciona um alcance de funcionamento até 300 metros.
  • As características acima mencionadas estão disponíveis mediante pedido e por um custo adicional (até 1,000 dólares). Contacte-nos para obter mais informações.
  • Nota:  
    O software é compatível apenas com o controlador de temperatura Yudian da MTI

         
Conformidade
  • Certificação CE
  • Todos os componentes eléctricos (> 24 V) Têm certificação UL/MET/CSA
  • O forno está pronto para passar a certificação TUV (UL61010) ou CSA a um custo extra.            
     
Notas de aplicação

 
  • As muflas tubulares com tubos de quartzo foram concebidas para utilização por baixo vácuo e baixa pressão < 0.2 bar/3 psi / 0.02 MPa
  • Atenção : Deve ser instalado UM regulador de pressão de dois estágios no cilindro de gás para limitar a pressão a menos de 3 PSI para um funcionamento seguro.
  • A taxa de fluxo para os gases deve ser limitada a < 200 SCCM (ou 200 ml/min)  para reduzir os choques térmicos no tubo
  • Definição do limite de vácuo para todos os fornos de tubos de quartzo: * as pressões de vácuo só podem ser utilizadas em segurança até 1000 ° C
  • Clique aqui para saber como configurar o tubo de quartzo/cerâmica e a flange de vácuo para o forno de tubo MTI.
  • Está incluída uma braçadeira de paragem de lâminas para manter a posição do forno.
 
  • Após DCV, o grafeno deve ser transferido do catalisador metálico para outro substrato para a maioria das aplicações.  Ao utilizar a fita de transferência gráfica, o resíduo pode ser baixo.
  •  
Aviso
  • O arrefecimento rápido das amostras pode ser conseguido deslizando a câmara de aquecimento para fora. Utilize equipamento de proteção, como vestuário e luvas resistentes ao calor, caso pretenda fazê-lo.  
  • NÃO TOQUE NA SUPERFÍCIE DO TUBO QUANDO ESTE ESTIVER QUENTE!
  1100c Compact Rtp Furnace with Quartz Tube &amp; Digital Vacuum Gauge

1100c Compact Rtp Furnace with Quartz Tube &amp; Digital Vacuum Gauge
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1 Pacote padrão exportado: Protecção anti-colisão interna, embalagem exterior de caixa de madeira para exportação.
2 Transporte por via aérea, expresso, por via marítima, de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a forma mais adequada.
3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a peça danificada gratuitamente.

 

 

Equipamento de Aquecimento de Laboratório

TREF.COM.MK, 2023