| Typ | FD15 | FD30 | FD50 |
| Kontrolltyp | SPS | SPS | SPS |
| Gehäusematerial | SS304 | SS304 | SS304 |
| Trockenbereich | 15 m2 | 30 m2 | 50 m2 |
| Tragfähigkeit | 150kg | 300KG | 500kg |
| Fachformat | 1550*490*30mm | 1774*443*30mm | 60*1000*30mm |
| Fachmenge | 40 | 39 | 80 |
| Fachtyp | Volumenkörper oder Netz | Volumenkörper oder Netz | Volumenkörper oder Netz |
| Menge Der Baffale-Platte | 10+1 | 13+1 | 85+1 |
| Baffaltemperatur | 10-100oC | 10-100oC | 10-100oC |
| Vakuumpumpe | Roots Pumpe + Schraubenpumpe | Roots Pumpe + Schraubenpumpe | Roots Pumpe + Schraubenpumpe |
| Max. Vakuum | <1,0MPa | <1,0MPa | <1,0MPa |
| Abtaumodus | Heißes Wasser oder heißes Fluor | Heißes Wasser oder heißes Fluor | Heißes Wasser oder heißes Fluor |
| Leistung Bewerten | 39KW | 70KW | 110KW |