| Los contaminantes | Especificaciones |
| El dióxido de carbono | ≤ 1,0 ppm |
| Los clorosilanos | ≤ 0,2 ppm |
| Silanes superior | ≤5.0 ppm |
| El nitrógeno | ≤ 2,0 ppm |
| El oxígeno+Argón | ≤ 1,0 ppm |
| Silano | ≤500,0 ppm |
| Siloxanes | ≤5.0 ppm |
| El THC (como el metano) | ≤ 1,0 ppm |
| El agua | ≤ 1,0 ppm |